Diffusers voor gassen

De high-purity diffusers van Mott zijn speciaal ontwikkeld voor de proceskamers, load locks en wafersteppers waar deeltjesvorming zo langzaam en geleidelijk mogelijk moet plaatsvinden. Met behulp van de poreuze metalen diffuser wordt er een laminaire flow gehandhaafd. Dit resulteert in een minimale verplaatsing van de deeltjes in het proces.

Verschillende configuraties van diffusers

De volledig metalen point-of-use-diffusers zijn verkrijgbaar in verschillende gradaties van het filterelement en kunnen uitgevoerd worden met vacuum flens, face seal-aansluiting of ringvorm.

Voor meer informatie neem contact op met één van onze Sales Engineers!